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Bei der EDX-Analyse wird die Röntgenstrahlung detektiert, die bei der Wechselwirkung zwischen Elektronenstrahl und Probe freigesetzt wird. Die Banden des resultierenden EDX-Spektrums geben die Elementzusammensetzung der untersuchten Probe wieder. Im Scanning Mode kann die Elementverteilung bildlich visualisiert werden. |
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