EDX - Energy Dispersive X-ray Analysis
Bei der EDX-Analyse wird die Röntgenstrahlung detektiert, die bei der Wechselwirkung zwischen Elektronenstrahl und Probe freigesetzt wird. Die Banden des resultierenden EDX-Spektrums geben die Elementzusammensetzung der untersuchten Probe wieder. Im Scanning Mode kann die Elementverteilung bildlich oder wie im gezeigten Beispiel als Linienscan visualisiert werden.
Das Beispiel zeigt die EDX-Analyse eines siliziumhaltigen Füllstoffpartikels in einem mit OsO4 kontrastierten Blockcopolymer. Die Messung erfolgte entlang der roten Linie im DSA-Bild, von oben nach unten.
